| 用于localdissolved调查的方法和装置的柔性特性的样品与光栅力显微镜 |
| DE102006045643 2006-9-27 发明申请 |
| 2008-4-3 |
| 本发明涉及一种用于局部解析方法分析样品的弹性性能，所述方法包括以下步骤 : 一AFM针尖(20)移动到样品上的点上方的位置(12)；B的AFM针尖(20)移动靠近样品点和接触刚度的组件第一中确定的方向偏离垂直于样品由最大20A°的平面，C部件的接触刚度，在样品点被确定在第二平行的方向的样品平面，和d接触刚度的部件在样品点被确定在第三的方向上，平行于样品从第二平面内不同方向。步骤A至D重复用于多个样品点和接触刚度和/或物理相关的变量到其上的指示给每个试样斑上。 |
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