| 用于调查的显微镜具有不同厚度的掩模，具有照明装置，其具有光源，和具有照明光学系统使待检查掩模与照明辐射照射 |
| DE102006045838 2006-9-27 发明申请 |
| 2008-4-3 |
| 一种显微镜是由可用以该掩模(M)与不同厚度的调查，与一照明装置(1)，所述一个源的光(3)，所述的照明辐射传递，和一种照明光学系统(6，10)显示出，其中一个掩模，其可以检查与照明辐射(L1)点亮和用于一个预确定的掩模的厚度被校正，并与一个检测装置(2)用于检测所述照明掩模(M)的，其中所述球面像差的显微镜用于一个预确定的掩模的厚度被校正和所述显微镜一个校正单元(17，18; p3; P4; 20，21; 23，24; 26，27)显示出，该球面像差校正所述的剩余部分，其中在所述的照明光学系统(6，10)到所述掩模，其中所述的所述掩模的厚度差可被检查到所述预确定的掩模的厚度是由于。 |
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