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产业专利数据

基于参考估计的扫描探针显微镜纳米位置传感与表面估计

US11536501 2006-9-28 发明申请

2008-4-3

在扫描探针显微镜的状态空间控制器中引入替代的参考信号输入，以提高跟踪效率。