| 探针显微镜扫描仪 |
| US11899309 2007-9-5 发明申请 |
| 2008-4-3 |
| 一种用于探针显微镜的扫描器，它避免了低谐振频率，更好地解释了压电非线性。 线性叠层扫描器的X、Y和Z轴彼此部分地解耦，同时保持所有机械关节在致动方向上刚性。 扫描探针显微镜包括探针、外壳、至少两个致动器，每个致动器联接到外壳，以及支撑件，支撑件联接到外壳并在与致动器联接到外壳的点间隔开的位置处联接到致动器中的至少第一个。 支撑件约束第一致动器沿第一轴线的运动，同时允许第一致动器沿第二轴线平移。 致动器优选地是正交布置的线性扁平压电叠层，优选地处于推挽配置。 在本发明的不同实施例中，支撑件可以采取不同的形式。 在特定实施例中，扫描器是2D扫描器，其具有具有X轴和Y轴的支撑框架，以及用于支撑要移动的对象(例如用于探针的样品)的构件，扫描器包括沿X轴和Y轴布置的挠曲和挠曲耦合的交叉适形压电体。 通过至少两个应变计测量压电体的膨胀，所述至少两个应变计设置成测量至少两个相对致动器的差动。 应变计优选地布置成补偿环境温度变化，并且优选地在每个致动器上布置两个或多个相同类型的应变计以放大应变信号。 |
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