距离确定装置,电容隔离传感器和过程,用于自动聚焦的显微镜
 
DE102006044235  2006-9-15  发明申请

2008-3-27
 
  一种装置,用于确定显微镜的物镜之间的距离和一个与显微镜检查样品,特征是有关为通过尽可能简单和经济的施工实用新型由于在物镜或在直物镜的接近电容性传感器连接,在其测量范围内的样品和/或样品的基本滑动或这些中的某一部份,由此使样品和/或滑容量的可测量的变化的传感器,由此从容量变化的传感器的距离的样品和/或滑至传感器可分配从而样品到目标的距离。电容特性的传感器,可用于在这样的安排中,至少两个电极之间的散射场生产的,其容量由经历一个可测量的变化物体进入的散射场,为使电极的外装用设置为基本上共轴的侧表面和电极在这样一种方式训练传感器插在在物镜的显微镜,因此凹槽的侧表面至少部分地封闭,影响目的。此外,显微镜的自动对焦程序经以下步骤测量后的能力的显微镜物镜连接的电容式传感器,在…
 
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