| 扫描传输电子显微镜 |
| JP2006241231 2006-9-6 发明申请 |
| 2008-3-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描传输电子显微镜用于提高分辨率的电子束衍射图像。溶液 : 一样品架上的电子束通过孔30安装在一个样品台9的形成一孔31在一沿一电子束光轴O方向和一孔33连接到其中孔和一垂直方向以一方向的那个孔。一扩散角限制隔膜11被插入在所述孔31之间的边界部和所述孔33，一个闪烁体13被设置在所述孔33具有相对于所述的电子束通过倾斜的光学轴O，和一个光电子乘法器14被设置在所述孔的出口部33。版权 : (C)2008，inpit |
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