| 扫描电子显微镜的信号检测装置，和其显示装置 |
| JP2006241419 2006-9-6 发明申请 |
| 2008-3-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一电子显微镜中，它是紧凑的尺寸和可观察的一个优良低真空二次电子图像。溶液 : 所述的电子显微镜包括一个反射镜体具有一物镜透镜在一个下部分和一个样本室一种低真空，其是位于下方的所述反射镜体和具有一个样本表内。一种非锥形形状的所述物镜包括一圆柱形的形状与所述相同的外直径在整个所述轴向方向被设置成使得所述轴向方向可垂直，和一个反射电子检测器和一个偏置电极用于一种低真空二次电子探测器被安装在所述下表面侧相对的所述物镜的透镜到该样品表，和所述的反射电子检测器和所述偏置电极，用于所述的低真空二次电子探测器被固定以该物镜通过一固定装置例如一个螺钉通过一反射电子侧的绝缘板和一个二次电子侧的绝缘板。版权 : (C)2008，inpit |
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