| 电子束调整方法，和扫描电子显微镜 |
| JP2007304979 2007-11-26 发明申请 |
| 2008-3-21 |
| 要解决的问题 : 以获得具有良好的可视性的最佳图像质量降低薄型化的样品在一个扫描电子显微镜。溶液 : 所述电子束的调整方法和该扫描电子显微镜所述电子束扫描所述样品上，添加一种通过所获得的多个帧的扫描，和所述的电子束在形成图像的调整条件。还，它们形成所述获得的图像的亮度直方图，通过所述电子束的扫描，和使所述检测亮度直方图图像转移到一个位置，其中所述的可视性提高了通过调整所述电子束的电流。版权 : (C)2008，inpit |
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