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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜的分辨率评价用试样和方法以及电子显微镜

US11779899 2007-7-19 发明申请

2008-3-20

在监视扫描电子显微镜的分辨率的情况下，为了高精度地测量电子束尺寸的变化，需要制备样品并使用测量算法以减小要测量的分辨率的指数值的图案依赖性。根据本发明，使用截面形状适于监测分辨率的样品，即，样品具有这样的截面形状，使得图案的侧壁倾斜，以防止照射到样品上的电子束撞击到图案的侧壁上。利用这种结构，可以执行不依赖于图案的截面形状的这种分辨率监视。