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对准芯片用于扫描电子显微镜点像差测量

WOJP06318796 2006-9-15 发明申请

2008-3-20

本发明提供一种用于点像差校正对准芯片用于一种扫描电子显微镜测量。所述对准芯片可以被简单地在一种低制造成本和被提供有一种新颖的对准图案合适的用于点像差校正测量。所述对准芯片具有凹凸图案的所述表面上，和所述凹凸图案具有一个突出部或一凹部配置一圆形或多边形的闭合回路。