| 控制的方法用于扫描探针显微镜样品的静电消除器。 |
| JP2006233509 2006-8-30 发明申请 |
| 2008-3-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一种控制一的方法用于一个扫描探针显微镜样品的静电消除器以缩短用于消除静电的时间使用一个静电消除器，作为尽可能在执行所述静电消除用于一晶片，通过所述的静电消除器的装置等所述扫描探针显微镜安装用于在线自动检查过程中的一个用于所述晶片，等，以延长维护时间用于一电极针和X射线，从而延长的周期部件替换。溶液 : 所述的方法是施加到一个扫描探针显微镜与一测量单元1和所述的静电消除器301; 所述测量单元1与一探针20的一个端上提供一个悬臂21和获取信息在所述表面的一个通过使所述探针靠近所述样品12样品，同时所述静电消除器301去除该样品中的静电电荷。该静电消除器301被激活在该整个装置与所述操作开始的同步。更具体地，所述的静电消除器301是将一个信号激活在所述的定时灯401上。版权 : (C)2008，inpit |
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