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产业专利数据

原子力显微镜

US11518320 2006-9-8 发明申请

2008-3-13

在一个实施例中，原子力显微镜包括框架，在第一端和第二端处耦合到框架的光束，安装到光束的探针，用于在光束和下面的表面之间引起相对运动的装置，以及用于检测光束的特性的装置。