| 改进的透射电子显微镜 |
| WOIB23056375 2023-6-20 发明申请 |
| 2023-12-28 |
| 扫描透射电子显微镜，杆，具有样品平面，所述杆包括主电子束源，所述主电子束源被布置成向位于所述杆的样品平面处的样品提供主电子束。 茎检测器，其中所述样品平面位于所述主电子束源和所述茎检测器之间。 第一二次电子SE检测器，其位于所述主电子束源和所述杆的样品平面之间。 位于样品平面和茎检测器之间的第二SE检测器。 信号采集电路，其被配置为同时采集来自所述第一SE检测器的第一信号、来自所述第二SE检测器的第二信号和来自所述STEM检测器的第三信号。 还有一种用于从茎部生成图像的方法。 |
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