| 扫描电子显微镜 |
| CZ19210067 2006-11-16 发明申请 |
| 2008-3-12 |
| rastrovacelektronovmikroskop obsahuje zdroj primnh elektronu，prostredky Pro urychlenprimnh elektronu Na podovanou kinetickou energii，magnetickobjektiv(3)majoptickou OSU，rastrovacsyst(6)rastrovsvazku primnh elektronu一种vzorku detektor PO(5)sekundnh elektronu。magnetickobjektiv(3)Se sklz prvndvoupovcocky(3a)umtenbl K merenuvzorku(4)lecod tohoto vzorku(4)V prvnpracovnvzdenosti(WD1)，一种Ze druh Na spolecnoptickose LEC dvoupovcocky(3b)druhou pracovnvzdenost(WD2vzorku OD(4)。detektor(5)sekundnh elektronu JE umten mezi touto prvndvoupovou cockou(3a)druhou dvoupovou cockou(3b)。 |
微信公众号