| 扫描电子显微镜 |
| CZ20060721 2006-11-16 发明授权 |
| 2008-3-12 |
| 本发明涉及一种扫描电子显微镜包括一次电子源，一种用于加速所述一次电子装置所需动能，磁性物镜(3)具有光轴，光栅系统(6)，用于扫描光束的一次电子沿图案，和二次电子检测器(5)。所述磁性物镜(3)由第一极透镜(3a)位于更靠近样品(4)的位置，测量(4)从这个样品(4)和躺在第一工作距离(WD1)，和第二两个极透镜(3b)躺在普通轴线，并被设置在第二工作距离WD2)从样品(4)。所述二次电子检测器(5)位于所述第一之间的两个极透镜(3a)和所述第二两个极透镜(3b)。 |
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