| 扫描探针显微镜 |
| GB0801900 2008-2-1 发明申请 |
| 2008-3-12 |
| 本发明涉及用于询问表面的方法使用扫描离子电导显微术(sicm)。在一个实施例中，本发明的方法包括步骤 : 一种)重复地使sicm探头接近表面在离散的，间隔开的位置在区域的面和测量表面的高度位置；b)估算表面粗糙度或其他特性，用于基于区域的表面高度测量值；和c)重复使所述探针接近表面在离散的，间隔开的位置区域中，数量和位置，基于所估计的区域中的表面粗糙度或其他特性，和获取图像的区域与分辨率适配的表面粗糙度或其它特性。 |
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