| 探测器装置配备有扫描电子显微镜，探测器装置和探针的清洗方法 |
| JP2006225563 2006-8-22 发明申请 |
| 2008-3-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一种探测器装置能够抑制产生的一个上的氧化膜的一探针针。溶液 : 该探测器装置是配备有一用于清洗清洗室5配备有一机构的所述资源管理器所述探测器装置的一探针单元4通过使用离子或真空中的该等干法处理，和一个测量机构(一种制备室3，一种输送装置12，一测试晶圆13和一栅极阀6)用于确定所述所述探针的探针的电测量单元4中的真空。所述测量探针的去除氧化膜后在所述清洗室5中的真空，所述探针是不暴露到大气中。因此，一种稳定的电特性可以被测量的相对于检查对象。版权 : (C)2008，inpit |
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