| 压电致动器和使用该相同的扫描探针显微镜 |
| JP2007134320 2007-5-21 发明申请 |
| 2008-3-6 |
| 要解决的问题 : 提供一种压电致动器具有一加压机构，其操作而稳定地麻烦，在压电元件即使当它是在一高的速度驱动，并提供一种压电致动器，其检测所述位移所述压电元件为一大的信号和具有改进的检测精度。溶液 : 一板簧4构成一个弹性构件，其被固定到基础6的一个端; 和其接触的其它端与一层叠型压电元件2或从动件5是构成，使得从侧的厚度被减薄所述的基础6以一个侧所述层叠型压电元件2，以使一截面第二的一个侧上的力矩较小的部分另一端保持通过所述层叠型压电元件2比一个端侧上的一个部分固定到所述底座6。进一步，一个应变仪传感器8被连接到一个端侧的面4a构成一个面所述板簧4的靠近所述层叠型压电元件2向一方向正交的伸长和所述层叠型压电元件2构成一个侧收缩的所述驱动部件5。版权 : (C)2008，inpit |
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