| 电子显微镜及其影像撷取方法 |
| WOJP22024470 2022-6-20 发明申请 |
| 2023-12-28 |
| 轴对称的电子枪结构的问题在于，从相对低真空的容器流入的气体分子的一部分到达光电膜，从而导致NEA表面的劣化、发射电流的不稳定和光电膜的寿命的缩短。 该电子显微镜具备：激发光源，在透明基板上形成的光电膜； 聚光透镜，用于将激发光聚光到所述光电膜上； 阳极电极，用于加速由聚集并投射到光电膜上的激发光产生的电子束； 第一差动泵浦膜片，在离轴位置具有通道孔，并设置在光电膜侧； 以及第二差动泵浦膜片，其在光轴上具有通道孔，并设置在样品侧。 所述电子显微镜在所述第一差动泵浦光阑和所述第二差动泵浦光阑之间设置有用于控制电子束轨迹的偏转器。 |
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