| 具有增强的差分干涉对比显微镜检查的速度和区域 |
| KR1020070026733 2007-3-19 发明授权 |
| 2008-3-4 |
| 目的 : 一种具有增强的差分干涉对比显微镜检查速度和检查区被提供以降低所述检查该显微镜的时间通过控制所述运动向一垂直轴线根据初始和最终的相对位移值通过一激光位移传感器，构成 : 一个差分干涉显微镜(100)具有增强的对比度检查速度和一种增强检查区域是由一个物镜的透镜(110)定位在一筒(120)的一个端，一个双折射率棱镜(130)设置在所述筒相邻到所述物镜，一个照明(140)安装在所述的外侧该筒下，所述的双折射率棱镜，一个半反射镜(150)安装在该筒在该点，其中轴该筒和所述的照明彼此交叉，一个分析器(160)设置在所述半反射镜下所述筒; 一个偏振滤波器(170)安装在所述半反射镜之间的所述筒的外侧和所述的照明; 激光位移传感器(180)位于所述外侧的所述筒上的所述相反侧的所述的照明，以控制所述的垂直移动所述显微镜向一个对象根据初始和最终的相对位移值; 检查照相机(190)位于所述筒的所述其它端上。kipo2008 |
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