| 通过扫描型共焦激光显微镜测量方法和其控制系统 |
| JP2006223640 2006-8-18 发明申请 |
| 2008-2-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一个通过扫描共焦激光显微镜测量方法能够捕获的图像通过适当地判断所述画面的一个捕获范围，即使当有多个图案的部分具有不同的高度。溶液 : 通过扫描型共焦激光显微镜所测量的方法中，一个被测样品的表面配置由使用所述扫描式共焦激光显微镜，其捕获该表面配置的一个二维图像的所述样品通过与一激光束照射所述样品和接收反射的光通过一个光接收部，同时相对改变一个样品之间的距离-加载阶段和一个物镜在所述的光学轴方向。其中，多个种类的位置信息在所述的光学轴的方向被相关的信息到第一在该表面包含任意选择的位置配置在所述的光学轴方向被登记，基于所述位置信息在所述的光学轴方向，所述捕获范围在所述用于捕获所述表面的光学轴方向配置的所述样品作为所述两个三维图像被计算，基于所述的捕捉范围，所述两个三维图像被捕获的和，从而，所述上述提到的问题可以解决。版权 : (C)2008，inpit |
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