| 扫描电子显微镜 |
| US11835697 2007-8-8 发明申请 |
| 2008-2-28 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜，当通过改变各个聚光透镜的强度来改变探针电流时，该扫描电子显微镜能够检查由于各个聚光透镜的强度的变化而引起的探针电流的突变。 所述扫描电子显微镜包括 : 电子源，用于产生电子束； 分别用于聚光电子束的第一和第二聚光透镜； 物镜，用于将电子束窄聚焦在样品上； 偏转系统，用于在样品上二维扫描； 以及检测系统，用于检测由于电子束照射到样品上而从样品产生的二次电子。 在扫描电子显微镜中，在第一和第二聚光透镜之间依次设置用于阻挡样品不需要的电子束的一部分的第一和第二孔径板。 |
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