| 光学位移检测机构及使用该机构的探针显微镜 |
| US11840549 2007-8-17 发明申请 |
| 2008-2-28 |
| 一种光学位移检测机构，包括 : 光源，用于用光照射待测目标； 光源驱动电路，用于驱动光源； 光检测器，由半导体制成，用于在光源照射待测目标后接收光，并将光转换成电信号，从而检测光的强度； 以及放大器，包括电流-电压转换电路，用于以预定放大因数对光检测器的检测信号执行电流-电压转换。 在该光学位移检测机构中，使用光谱半宽度为10nm或更大的光源，由此可以以2mW或更大的输出功率驱动光源，而不会产生模式跳跃噪声和光反馈噪声。 |
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