| 扫描电子显微镜用光阑的紫外激光微加工系统及方法 |
| CN200710122103.5 2007-9-21 发明申请 |
| 2008-2-27 |
| 本发明涉及到光阑，特别是一种应用于扫描电子显微镜中的微孔和小孔光阑的紫外激光微加工系统和方法。主要由紫外激光器、计算机、扫描振镜系统、被加工材料钼薄片、工作台和夹具构成，通过激光微钻孔和激光微切孔两种方法加工不同孔径的光阑。对于15μm～50μm的微孔采用微钻孔方法加工，把钼薄片放在焦点位置，通过调整激光脉冲重复频率或者调节离焦量来加工；对于50μm～300μm的孔径采用激光微切割的方法进行加工，首先使钼片固定在激光束焦点位置，其次在扫描振镜控制软件中绘制所要加工的孔径大小，最后控制激光器对绘制的孔径进行激光微切孔。本发明能够加工15μm～300μm的微孔，解决了目前微孔加工的难题。 |
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