| 方法和一种装置用于测量运动的一保持器用于一个传输电子显微镜提高分辨率的所述TEM |
| KR1020070055890 2007-6-8 发明授权 |
| 2008-2-27 |
| 目的 : 一种方法和一种装置用于测量运动的一保持器用于一个传输电子显微镜是提供所述夹持器到用于一运动补偿的误差通过使用所述夹持器的一倾斜或旋转角度。结构 : SEM(100)直接观察一个安装部分的切片。一盖(200)被固定在一真空室的所述SEM(扫描电子显微镜)，2-轴级(300)被安装在所述盖和垂直和水平TEM夹持器移动。一种夹持器盒(400)是所述2-轴上安装存储。一种夹持器的所述TEM被插入到所述支架盒。一种旋转台(500)被安装在所述2-轴台和旋转所述TEM架。一种背\/来回移动单元(600)被安装在所述旋转台和移动所述TEM(透射电子显微镜)夹持器，其被安装在所述旋转阶段，在垂直和水平方向，kipo2008 |
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