| 一种电子显微镜用材料力、热耦合的原位循环拉/压台 |
| CN202311251086.0 2023-9-26 发明申请 |
| 2023-12-26 |
| 本发明涉及一种电子显微镜用材料力、热耦合的原位循环拉/压台。本拉/压台包括金刚石拉/压头部分、拉/压应力驱动部分、加热系统、以及支撑部分。所述的金刚石拉/压头部分下端置于C型I中空结构，施加拉/压应力并获得相应的力反馈。所述的拉/压应力驱动部分和支撑部分通过精密蚀刻技术或者半导体工艺设计制备，依次包括C型I中空结构、弹簧结构、C型II中空结构、T型样品区。在拉伸区域布置有电阻丝用于加热该拉/压台，可以方便的实现在特定温度下对材料循环施加面内拉/压应力，并在扫描/透射电子显微镜中进行原位观察。同时填补了研究断裂失效样品断口再加压的后续研究以及冷焊、自修复等材料原位研究的新方法。 |
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