| 光源装置和显微镜装置 |
| JP2006211388 2006-8-2 发明申请 |
| 2008-2-21 |
| 要解决的问题 : 以抑制发生光化学的反应和减少消到被上引起的光学部件由一个简单的配置。溶液 : 该光源装置102通过一灯24发出的发射紫外射线，通过波长选择光学系统30容纳在一个外壳22a。所述光源装置102包括 : 一通风风扇35设置在所述外壳22a和用于通气所述外壳22a; 和一个控制部分32执行控制，使得在所述外壳22a被排出的气体后在一起与所述气体中的杂质通过所述通风风扇35，该灯所发出的紫外射线24是由入射在所述波长选择光学系统30。版权 : (C)2008，inpit |
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