共焦激光扫描显微镜
 
JP2006214695  2006-8-7  发明申请

2008-2-21
 
  要解决的问题 : 以提供一个共焦激光扫描显微镜能够获得的高检测精度和高聚焦检测灵敏度相关,以一样品,而不影响由一物镜之间的光瞳直径差透镜具有不同的放大率。溶液 : 所述共焦激光扫描显微镜包括 : 一激光光源1; 一偏振分束器(PBS)3; 多个的光束扩展器17; 一二维扫描机构4; 一种光瞳投影透镜5; 一种图像形成透镜6; 一个1\/4波长板7; 一个物镜9; 一个级12; 一种图像形成透镜13; 一个针孔14; 和一个光学检测器15。所述光束扩展器17被配置到所述入射激光束2所述的光束直径变化到基本上所述相同的所述的光瞳直径8所述的物镜9设置在所述光学路径。版权 : (C)2008,inpit
 
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