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4
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使用扭转谐波悬臂的原子力显微镜
US11877353 2007-10-23 发明申请
2008-2-21
一种用于检查样品的基于原子力显微镜的装置,包括 : 悬臂,其具有悬臂臂和探针尖端,其中探针尖端从悬臂的纵向扭转轴线横向偏移;振荡器,其以弯曲模式驱动悬臂振荡,以使探针尖端重复地与样品相互作用,其中横向偏移的探针尖端的尖端-样品相互作用激发悬臂的扭转运动;以及检测系统,其响应于尖端-样品相互作用检测悬臂的扭转运动。
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