| 设备和方法用于检查一与一探针显微镜样品 |
| WODE07001468 2007-8-20 发明申请 |
| 2008-2-21 |
| 本发明涉及一种装置和以一种用于检查一与一探针显微镜样品的方法，在特定与一个扫描探针显微镜。该装置包括一个具有一个样品探针显微镜装置用于保持一个待检查的样品架，一种测量探头和一个位移单元，其被配置用于移动所述样品固定器和所述测量探针相对于一个另一用于一探针显微术检查的所述样品，和一冷凝器的照明和光学系统，其被设置的下游所述冷凝器的照明和被配置用于投影冷凝器的光，其被发出到一冷凝器的光路径由所述冷凝器的照明，为该区域的所述用于光学显微术的样品固定器的所述待检查的样品，同时保持，至少部分地，所述冷凝器冷凝器的光与其参数由所述冷凝器的照明光被发射的。 |
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