| 非接触的原子力显微镜和其操作程序 |
| JP2006202984 2006-7-26 发明申请 |
| 2008-2-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一种NCAFM能够稳定地执行方法和所述的一种样品的表面观察与适当的解析功率即使有关于一种非接触的原子力显微镜中的任何样品和所述操作程序它们。溶液 : 一种非接触的原子力显微镜包括一个环路电路，其中一个悬臂7与光照射所述的背面; 接收所述照射光，以将所述相同的，以一电气信号，施加预定的处理到所述信号转换到所述的电气信号以获得所述谐振频率的谐振频率和相位改变，以驱动该悬臂通过该信号对应的相位变化量，以形成一个正反馈回路，一PLL型FM解调电路20它接收所述回路的所述输出电路到FM解调的检测宽度变化和FM解调中心频率和一Z-轴的反馈控制装置30用于控制所述的所述悬臂探针和样品之间的距离由所获得的解调信号由该FM解调电路20，使得所述解调信号成为恒定。版权 : (C)2008，inpit |
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