| 一种扫描电镜图像漂移补偿方法、系统及电子设备 |
| CN202311244376.2 2023-9-25 发明申请 |
| 2023-12-26 |
| 本发明提供的一种扫描电镜图像漂移补偿方法、系统及电子设备，涉及图像漂移补偿技术领域。方法包括：根据基准扫描图像和扫描图像序列，确定特征点的动态位移函数。动态位移函数用于描述待测样品任意时刻相对于0时刻的位移。位移包括X方向位移和Y方向位移；获取t时刻为待补偿扫描时刻；根据动态位移函数确定待测样品t时刻的预测位移。预测位移包括X方向预测位移和Y方向预测位移；根据预测位移，调整扫描电镜电子束的扫描位置并获取扫描图像为漂移补偿扫描图像。本发明通过确定待测样品t时刻的预测位移，能够对扫描电镜图像漂移进行补偿，提高了图像扫描质量。 |
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