| 压电致动器和使用该相同的扫描探针显微镜 |
| JP2006204108 2006-7-27 发明申请 |
| 2008-2-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一种压电致动器，其可以一高频率域中被驱动通过防止一个可用频率的频带从被通过一个低阶模式的谐振频率变窄的其它比所述的位移方向一个压电元件。溶液 : 所述压电致动器包括一个压电元件1通过其上的电压的应用，其是可弹性变形，一基础。5，以其一个端部的所述压电元件1被固定，和一壳体3提供基本上在平行到该压电元件1所述的位移方向。所述致动器还包括至少一个板弹簧2具有一个面交叉的方向位移的方向所述压电元件1，该弹簧的一端被固定到所述壳体3和所述其它端以所述压电元件1的一个侧表面。版权 : (C)2008，inpit |
微信公众号