| 共聚焦显微镜 |
| JP2006206122 2006-7-28 发明申请 |
| 2008-2-14 |
| 要解决的问题：提供一种共焦显微镜，其扫描机构的设计自由度高，能够进行适当的扫描，来自光源的光的利用效率高，适合于以高分辨率测量样本。 解决方案：在共焦显微镜100中，辐射光经由物镜12聚焦在样本22的聚焦面上，扫描辐射光的聚焦点并从样本22的反射光获得共焦图像。 从激光光源1输出的光通过针孔单元8变成多光源，并且光束通过分别倾斜设置在针孔单元8和具有检流计25和27的物镜12之间的第一光学平行光24和第二光学平行光26而平行移动以扫描平面。 版权：(C)2008, JPO&INPIT |
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