电子显微镜装置
 
JP2006206210  2006-7-28  发明申请

2008-2-14
 
  要解决的问题 : 以简化安装工作的一个盖部上的一电子显微镜。溶液 : 所述的电子显微镜主体部1由一个电子枪部2和一显微镜的管3被放置在一底座柜24,和其周围被密封和由所述盖部6包围。在所述盖部6,一种面板和打开和关闭门11a,11b和一个窗口部分14或该等被安装在一帧部29,和在所述框架部29,该后部框架主体围绕所述的电子显微镜主体部分1和所述后部侧的所述基座柜24和所述前部分框架体周围的所述前部分侧被耦合。在安装所述盖部6,该后部框架体是首先安装,该后部分的定位框体相对于该基座柜24是进行由定位夹具31a,31b和定位块32a,32b; 所述前部分框架体被安装在所述定位后部分框架体,和所述框体6被安装。版权 : (C)2008,inpit
 
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