产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜

US11768291 2007-6-26 发明申请

2008-2-14

在扫描电子显微镜中，在样品室中提供具有地电位的反射板，并且从样品发出的背散射电子撞击到反射板上以产生辅助电子。施加有+100-+500V正电压的电场供给电极布置在由反射板和样品台限定的间隙中。第一检测电极设置成检测归因于反向散射电子的离子电流，第二检测电极设置成检测表示归因于二次电子和反向散射电子的离子电流共存的电流。如此构造的扫描电子显微镜可以实现二次电子和背散射电子的同时分离/检测。