| 通过所述失真的校正漂移所述的方法的图像表面,所述扫描探针显微镜上得到 |
| RU2006127131 2006-7-27 发明申请 |
| 2008-2-10 |
| 字段 : 扫描探针显微镜。^物质 : 所述的自动模式中的漂移校正被执行。由漂移引起的失真被描述的与线性转换,其是真如果该显微镜的漂移速率的变化足够缓慢。作为所述源数据,一个或两对相对扫描图像的所述表面浮雕的(osi)被使用。在相对的扫描,该位移沿所述光栅线和所述相同的图像中的线之间的执行是在所述相反的方向以所述的其他位移方向。根据所提出的方法,所述相同的表面特征将被识别在每个OSI和其横向坐标将被确定用于所述图像校正。所述的横向和垂直平面中的OSI校正是通过执行确定该线性变换比。osis结合所述校正后,该浮雕平均是它们的重叠区域中进行。^效果 : 与漂移校正误差的评价和获得经校正的图像误差不超过某预定值。^22Cl,23显示,4TBL内。 |