| 一种电镜图像的自动对焦方法、电子设备、存储介质及程序产品 |
| CN202210700410.1 2022-6-20 发明申请 |
| 2023-12-26 |
| 本发明涉及一种电镜图像的自动对焦方法、设备、介质及产品，该方法包括；通过对样品进行成像，获取当前图像；对获取的图像进行预处理；将预处理后的图像进行分块处理，得到若干子块，分别计算每一子块的纹理丰富程度；选择纹理丰富程度最大的多个子块作为聚焦窗口；采集物镜电流下的电镜图像，计算电镜图像的清晰度评价值，通过搜索算法控制电镜的物镜电流，结合清晰度评价值定位最佳聚焦点。本发明提出的合焦评价函数具有优秀的单峰性，能有效避免系统在执行自动对焦的过程中陷入局部最优。基于合焦评价函数的单峰性优势，对焦过程分为粗对焦与细对焦，大大提升对焦效率，耗时极低。合焦评价函数及对焦方法针对不同的电镜样品均有较佳效果。 |
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