| 形状测量装置和共焦显微镜 |
| JP2006197001 2006-7-19 发明申请 |
| 2008-2-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一个形状测量装置和激光显微镜，其中，即使当外部机械振动和声振动被传播，由所述外部振动是不受影响。溶液 : 一由一光源发射的光束(1)被投影到一个样品(9)通过一个物镜(8)。该样品的表面是通过所述光束在扫描一个二维的方式。一个物镜驱动装置(10)用于移动所述物镜在其光轴方向被设置，允许该样品的表面到被扫描，同时所述物镜是在所述的光学轴方向移动，其中所述所述物镜之间的间距(8)和所述样品的表面(9)是作为Z-轴方向位置测量信息(12)，和所述测量的间距被用于作为所述Z-轴方向位置信息。一种信号处理电路(20)，使用一个亮度信号从一个一维图像传感器接收反射的光从所述该样品的表面和所述位置信息从所述间距测量装置(12)，输出所述两维图像的信息所述样品和所述高度信息的所述样品的表面。版权 : (C)2008，inpit |
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