| 光学显微镜 |
| JP2006198577 2006-7-20 发明申请 |
| 2008-2-7 |
| 要解决的问题 : 以允许一种偏振棱镜和管状部件设置在一滑块单元对被容易地可切换地设置在所述物镜的光轴。溶液 : 所述的光学显微镜100包括所述滑动器单元16在其一个保持机构301和一个电驱动机构302被设置在一滑块体30。所述保持机构301一体地容纳 : 一种Nomarski棱镜14引起的两个偏振的光线会聚或发散以干扰与每个其它用于差分干涉观测; 和一个光屏蔽的管状部件15通过其一个暗场照明光路(OP1的同轴与所述的光学轴一物镜透镜7的OA是从一种观察光学路径op2分离。所述功率驱动机构302移动所述保持机构301所述驱动轴的方向中的MA垂直以所述光轴OA和因此电开关所述Nomarski棱镜14或光-屏蔽管状部件15以所述是在所述光轴OA的位置,另外,当所述nomrski棱镜14被设置在所述的光学轴OA,所述电驱动机构302中的电移动所述Nomarski棱镜14所述所述驱动轴的方向MA精细。所述滑动器单元16从旋转器装置19被插入或除去所述的附近中的所述所述物镜的透镜光瞳7。版权 : (C)2008,inpit |