| 激光扫描显微镜 |
| JP2006199660 2006-7-21 发明申请 |
| 2008-2-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光扫描显微镜能够精确地校正像差在所述相对宽的范围聚焦在所述相同的运动的时间，即使当用于移动聚焦位置进行校正。溶液 : 所述激光扫描显微镜包括 : 一光源10产生的激光束; 一物镜透镜19聚光的所述激光束从所述光源10到样品20; 一扫描器16扫描的所述激光束从所述光源10所述两个方向中的正交到每个其他; 一个共焦小孔23的共焦地检测该光束从所述样品上的聚光位置20; 和一光电倍增管24的检测所述的光通过所述共焦小孔23。所述激光扫描显微镜是进一步提供有 : 一可变形反射镜14，它具有所述可变形的范围表面是在一个凹反射表面的状态和所述初始形状被设置在一大致中间位置。所述可变形的范围和，由此，进行像差校正和\/或所述的光通过所述物镜的焦点移动透镜19; 和一个控制部分25中所述可变形反射镜14的形状发生变形的所述可变形的范围基于在该光电倍增管24所述的检测结果。版权 : (C)2008，inpit |
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