| 扫描探针显微镜 |
| WOJP07064237 2007-7-19 发明申请 |
| 2008-2-7 |
| 一扫描探针显微镜显示出高灵敏度，以一悬臂和样品之间的交互，其中所述的悬臂所述扫描探针显微镜在FM模式振荡稳定，即使一个低机械的环境中的Q。一种驱动具有一频率信号靠近所述谐振频率的一悬臂(4)被供给从一信号发生器(9)。以一种振荡激发装置(10)因此对该悬臂(4)以分别激发的振荡(强制振荡)。(1)所述驱动信号的频率或所述悬臂(2)的谐振频率被控制(通过调整所述该悬臂(4)和样品之间的距离(1))，使得所述相位之间的差所述驱动信号和所述所述悬臂的振荡(4)检测到由振荡检测装置(5)变为零，I。e。所述驱动信号的谐振频率和所述悬臂(4)彼此匹配。 |
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