| 电子显微镜和成像物体的方法 |
| US11288929 2005-11-29 发明授权 |
| 2008-2-5 |
| 一种电子显微镜和成像物体的方法。 所述方法包括以下步骤 : 产生至少一个电子脉冲，每个电子脉冲包括多个电子，所述电子具有动能扩展； 使用一个或多个透镜对每个电子脉冲进行去放大，每个透镜具有聚焦强度； 动态改变所述一个或多个透镜中的至少一个的所述焦强，以补偿所述动能扩散； 以及基于由每个去放大脉冲产生的在所述对象处的相互作用形成所述对象的图像。 所述电子显微镜包括 : 适于产生多个电子脉冲的电子源，每个电子脉冲包括多个电子，所述电子具有动能扩展； 一个或多个透镜，适于使所述物体上的每个所述电子脉冲消散，每个透镜具有聚焦强度； 补偿装置，用于动态地改变所述一个或多个透镜中的至少一个的所述焦强，以补偿所述动能扩散； 以及检测器，用于基于由每个所述去放大脉冲在所述对象处产生的相互作用来形成所述对象的图像 |
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