| 使用所述相同的扫描探针显微镜和扫描的方法 |
| KR1020080002620 2008-1-9 发明申请 |
| 2008-2-1 |
| 目的 : 一种扫描探针显微镜和使用该显微镜是提供一种测量方法，以获得一精确的图像通过抑制图像失真的一个对象由于一个扫描器的误对准。结构 : 一扫描探针显微镜包括一个探头(100)，第一和第二扫描器(310, 320)，和一个校准单元(400)。第一扫描器的移动所述一种直线上的探针，其是一种XY平面上不存在。第二扫描器的移动一个样品在该XY平面上。该校准单元第一和第二扫描器的位置变化，使得所述探针是移动一个正常方向与相对于该XY平面中。一种第一的图像所获得的样品是沿一直线该XY平面上。该样品是通过旋转180度，和第二所述样品的图像为获得该XY平面上沿着该直线。第一和第二之间的一个平均图像的图像被计算的。第一或第二所述校准装置改变所述的位置的扫描仪根据一个之间的差值第一和第二的图像和所述平均图像，kipo2008 |
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