| 图像用于使用电子束装置E中的制造方法。G。扫描电子显微镜，包括reconducting粒子光束到适当位置，和从一个地方重新扫描粒子束在对象 |
| DE102006040308 2006-8-29 发明申请 |
| 2008-1-31 |
| 本发明涉及一种过程和一种装置(1)用于所生产的一个画面的一个对象(5)通过一个粒子光束的装置，其中与所述程序和\/或所述装置(1)中所述粒子光束在所述对象(5)成为筛选。用于本发明该任务到原因是适当的，一过程和一种用于生产装置的一所述对象的图像，以指示(5)通过一个粒子光束的装置，其具有一冷场发射极(2)它是在这样的一种方式保证了良好的图像质量是总是可用的。这个任务是通过该事实的问题，其与所述过程根据本发明在一辐射的变化一个对象参数的一个栅极(5)与校正参数被优选地重复。根据本发明所述装置(1)所述适当的装置(4，6，7)点用于该上。 |
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