| 微型扫描电子显微镜 |
| KR1020060071445 2006-7-28 发明申请 |
| 2008-1-31 |
| 目的 : 一种小尺寸的扫描电子显微镜被提供以最小化，简化了一种组合物及其组件的安装空间。结构 : 一个样品室(10)包括一个腔体，用于形成一个真空空间具有一个开口和一室盖用于打开\/关闭所述腔体的所述开口。一种级单元包括一个用于加载一个样品的样品表执行一个Y方向在所述室中的X-运动体和X和Y方向控制旋钮用于精确地移动所述样品表。一个壳体(30)具有一与所述的一个上部圆柱形本体被耦合腔体。一种电子扫描单元被安装在所述壳体中，以便扫描电子束到所述样品装入所述样品上的表。一种测量单元(50)包括一个二次电子探测器(51)用于次级电子和一种测量图像处理器(53)用于检测信号转换成一个视频信号。一种真空维护单元(60)形成所述外壳中的一真空状态和所述根据一预定程度所述样品室的内部的真空。kipo2008 |
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