| 压电致动器和使用该压电致动器的扫描探针显微镜 |
| US11827110 2007-7-10 发明申请 |
| 2008-1-31 |
| 一个板簧(4)，该板簧(4)构成一个弹性件，该弹性件的一端固定在一个基座(6)上， 另一端与层叠型压电元件(2)或从动部件(5)接触的层叠型压电元件(2)的厚度从基座(6)的一侧向层叠型压电元件(2)的一侧变薄，使层叠型压电元件(2)保持的另一端的一部分的惯性矩比固定在基座(6)的一端侧的惯性矩小。 另外，应变计传感器(8)安装在构成板簧(4)的一端的一个面的板簧(4)的侧面(4a)上，该板簧(4)靠近与构成从动部件(5)的侧面的层叠型压电元件(2)的伸长和收缩方向正交的层叠型压电元件(2)。 |
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