| 使用近场扫描光学显微镜的精密加工方法 |
| US10911071 2004-8-3 发明授权 |
| 2008-1-29 |
| 一种使用近场扫描光学显微镜(NSOM)激光微加工系统制造微结构器件的方法。 本发明提供了一种微结构器件预制件，包括现有特征。 在所选择的预制件的一部分上扫描NSOM探针尖端，使得多条扫描线横跨现有特征。 在至少两条扫描线中确定现有特征的扫描位置。 基于扫描的位置和现有特征的形状来确定现有特征的取向。 基于现有特征的形状和取向来确定后续扫描线中的至少一个预期加工位置。 当NSOM探针在随后的扫描线期间被扫描通过预期的加工位置时，微加工激光器被脉冲化，以在微结构器件预制品上形成至少一个精细特征，从而完成微结构器件。 |
微信公众号