| 一种扫描电镜原位力学实验位移补偿方法及系统 |
| CN202311045597.7 2023-8-18 发明申请 |
| 2023-12-22 |
| 本发明公开一种扫描电镜原位力学实验位移补偿方法及系统，涉及扫描电镜原位力实验领域，该方法：确定材料样品进行原位力学实验时的拉伸速度；基于所述拉伸速度，确定扫描电镜的扫描电子束相对于材料样品的扫描路径；根据所述扫描电子束的扫描速度确定所述扫描路径上相邻像素点之间的运行路程；根据相邻像素点之间的运行路程确定所述扫描电镜中扫描线圈所需的电压补偿值。本发明解决了扫描图像的整体偏移和畸变的问题。 |
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