| 用于超声波显微镜检查超声换能器的方法，和制造方法和检查装置及其 |
| JP2006187285 2006-7-6 发明申请 |
| 2008-1-24 |
| 要解决的问题 : 提供一种用于一超声波显微镜检查一个超声换能器的方法，能够可靠地检查所述超声换能器用于所述超声波显微镜的质量。溶液 : 所述检查装置1包括一个显微镜体3，一个物镜旋转器4，一种X-Y台5，和一个个人计算机6。一物镜透镜12和一个超声探头13被screwedly附着到所述物镜的旋转器4。一个基准板7的光学图像数据是使用获取的所述物镜透镜12，一种超声图像该基准板7的数据是使用所获取的所述超声探头13的超声波换能器14，一束光点形状的一焦点区域中的一个从所述超声波换能器14发射的超声波波s0是发现基于所述的光学图像数据和所述的超声图像数据，和一尖端部形状的所述质量在所述超声波换能器14是基于所述的失真程度上确定的束点形状。版权 : (C)2008，inpit |
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